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    现在位置首页>行业专用>电子/半导体/通信>膜厚控制仪> INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪

    商品编号:49961
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    INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪

    价    格:询价

    产    地:美国更新时间:2016/12/19 11:00:40

    品    牌:Inficon型    号:SQM160

    状    态:正常点击量:2030

    18753191326
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    济南堃康医疗器械有限公司

    联 系 人:甘明

    电     话:18753191326

    传     真:0531-68629559

    等     级: (第 4年)

    性     质:生产型,

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    SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速?#22987;?#33180;厚信号。

    在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精确的沉积控制;?#37096;?#20197;设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为?#25628;?#38271;传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1?/s 还是0.01?/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。

    数?#36136;?#20837;可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件,可以通过电脑上进?#26800;?#35797;安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel?文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以最大程?#30830;?#20415;不同用户。

    SQM160产品详细介绍

    ?


    产品参数

    产品规格

    QCM传感器输入??????????????? ?? 标准型: 2;路? 可选: 4路?????????????

    频率范围?????????????????????????? ??1-10 MHz???????????????????????????

    频率分辨率? ???????????????????? ? ?标准型: ± 0.12 [email protected] 4 readings/sec

    ???????????????????????????????????? ????可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec?

    频率稳定性??????????????????????? ?在 0o to 50oC,总计± 2 ppm?????????

    可选择的测量周期?????? ??????? ?0.10 to 2 sec (每?#23545;?#37327;0.05 sec)???

    测量选择?????????????????????????????1 to 20 readings??????????????? ???

    存储膜系????????????????????????? ???99?????????????????????????????????

    模拟输出?????????????????????????? ? 2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚?

    数?#36136;?#20837;/输出?????????????????????2?路数?#36136;?#20837;, 4路继电输出??????????????

    数字接口???????????????????????????? 标准型: RS-232?????????????????????

    ???????????????????????????????????????? 可选: USB or 以太网?????????????? ?

    电源????????????????????????????????? ?0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W?

    CE 标识????????????????????????????? Class 1 equipment?????????????????

    ???????????????????????????????????????? ?73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD?? ?

    安装支架???????????????????????????? 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,????

    ??????????????????????????????????????? ??89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

    重量????????????????????????????????? ?2.7 Kg6 lbs)?????????????????? ?

    Windows软件(included)?????? 提供远程安装和操作指导,数据录入功能

    订货信息

    ?附件

    782-900-008 ???????????? ???单台SQM-160 19"安装支架

    782-900-014?????????????????双台SQM-160 19"安装支架

    782-502-062??????????????? ?4传感器输入扩展卡??????

    ??????????????????????????????? ?(将标准型2路扩展到6路)

    782-900-042?????????????????高分辨率选件

    ??????????????????????????????? (此项需在工厂?#22411;?#25104;安装)

    782-900-040??????????????? ?USB选择卡????????????

    782-900-041?????????????????以太网选择卡

    ?


    产品介绍

    SQM160产品详细介绍

    便于使用

    ???? 开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,?#35789;?#25805;作人员离监测仪?#27426;?#36317;离也仍然清晰可见。?#36125;?#21040;预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双?#35828;?#21487;以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先,选“program”键,进入?#35828;ィ?#28982;后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示?#35828;?#25552;示,而设定的数据可以在辅助界面中?#19994;健?o:p>

    高精度,低成本

    ?? 标准型的频率分辨率是[email protected] 4个读数/秒,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为[email protected] 10个读数/秒的高精型。SQM160另一大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精度和高稳定性的联袂使得?#27599;?#20202;器具备了卓越的性价比。

    产品特点:

    ■ 双通道(标准型),四通道可选

    ■ 沉积速率/膜层厚度模拟输出

    ■ 高精度: 0.03Hz at 10个读数/s

    ■ RS-232 接口, USB 或以太网可选



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