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    热门词:生物显微镜 水质分析仪 微波消解 荧光定量PCR 电化学工作站 生物安全柜

    商品编号:50014
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    AE Pinnacle 直流磁控电源

    价    格:询价

    产    地:美国更新时间:2016/12/19 11:00:40

    品    牌:Advanced Energy型    号:AE

    状    态:正常点击量:1881

    18865410174
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    济南鑫井医疗器械有限公司

    联 系 人:母洁洁

    电     话:0531-68629546

    传     真:0531-68629559

    等     级: (第 4年)

    性     质:生产型,

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    Pinnacle直流磁控电源

    产品型号:Pinnacle系列

    Pinnacle® Plus+ Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本?#32422;?#20855;有绝佳的灵活性。

    优势

    更高的沉积率与产品率

    薄膜均匀性和品?#23460;?#27969;?

    成弧造成的基材损坏减少?

    成本更低

    系统整合容易

    极佳的工艺灵活性和宽容度

    重复性能

    在过度曲线?#26174;?#34892;稳定

    吞吐量更高

    便于监控

    无与伦比?#21335;低?#28789;活性

    特点

    一个紧凑型封装

    频?#23454;?#33410;范围为 5-350kHz

    占空比高达45%

    电压范围宽——单输出宽阻抗范围?

    大功率运行

    基材温度低

    单输出(5kW 和 10kW 型号)

    用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)

    绝佳的弧控制

    反应性溅射闭环控制


    产品参数

    Pinnacle系列直流磁控电源详细介绍

    优势:

    最低的运行和安装成本

    ?#21040;?#26368;快的弧反应时间

    可配置的弧反应参数

    最大的工艺效率

    精确的工艺控制

    特点:

    最低的存储能量,每千瓦输出不到1mJ

    无需调节输出变压器

    4:1的阻抗范围

    靶材处理时间----最大限度地缩短新靶材的处理时间

    ±0.1%的输出重复性

    Joule模式---最优化的能量传送

    规格:

    输入电压:200/208、400或480VAC (±10%)、3¢4线、50/60kHz

    功?#23460;?#32032;:负荷>90%

    输出电压:低Z、标准Z或高Z

    输出极性:浮动默?#29616;擔?#20855;有正和负功能

    输出波纹电压:与输入线频有关,输出波纹电压分量<5%RMS

    输出功?#25163;?#22797;精度:0.1%,从设计功?#23454;?0%到100%

    负荷调整:±1%,输出阻抗范围的V-1限?#30340;?:1的负荷变化

    温度系数:>20℃40℃的环境温度范围调整输出参数变化0.005%/℃

    模拟接口选项:37针绝缘,0至10VDC模拟。0/24VDC数字

    ????????????? 37针绝缘,0至10VDC模拟。0/15VDC数字

    37针绝缘,0至5VDC模拟。0/15VDC数字

    串?#22411;?#20449;选项:RS-232,RS-242,RS-485(可选波特率高达57.6K)

    ?????? ???????AE Bus协议

    ????????????? ASCII协议(MDX和仿真)

    ????????????? Profibus(可选波特1.5或12MB) AE Bus协议

    ????????????? 具有DeviceNet选项

    输出功?#24335;?#22836;:三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环

    输入功?#24335;?#22836;:五个终端、DIN压缩接头

    尺寸:133 x 483 x 639 mm (高x宽x长)

    重量:25.9kg

    Pinnacle:6kw、6/6kw、8kw、10kw、10/10kw、12kw、15kw、20kw




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